ASML：荷蘭公司，是目前全球最大的光刻機(jī)生產(chǎn)商，占據(jù)了市場份額的近80%。
Nikon：日本公司，是另一個大型的光刻機(jī)制造商，占據(jù)了全球市場份額的一部分。
Canon：日本公司，也是光刻機(jī)制造商之一，其光刻機(jī)主要用于生產(chǎn)LCD顯示器和光纖通訊器件等。
Samsung：韓國公司，也在光刻機(jī)制造領(lǐng)域有所涉及，其光刻機(jī)主要用于生產(chǎn)DRAM和NAND閃存器件等。
Intel：美國公司，也在光刻機(jī)制造領(lǐng)域有所涉及，其光刻機(jī)主要用于生產(chǎn)微處理器和存儲器件等。
除此之外，還有一些其他的光刻機(jī)制造商，如中國的微電子集團(tuán)、荷蘭的光影集團(tuán)等。
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